Flon氟隆化工氟食素塞閥雙向空氣操作VC-G型

Flon氟隆化工氟食素塞閥雙向空氣操作VC-G型

一、品牌與產品基礎定位

品牌：株式會社フロンケミカル（Flon 氟隆化工，AtFlon 事業部），日本專業氟樹脂流體控制廠商，專注半導體、高純藥液、強腐蝕化工管路全氟閥門、管件研發生產。

產品全稱：NR1117 氟樹脂 PTFE 柱塞閥 VC-G 型（雙向空氣操作 / 復動式氣動塞閥），屬于 VC 手動柱塞閥系列的氣動驅動升級款，專為高純腐蝕藥液自動化通斷控制設計。

二、核心結構與材質配置

1. 流體接觸區（全氟耐腐蝕潔凈體系）

閥體、柱塞閥芯：PTFE（聚四氟乙烯），耐絕大多數強酸、強堿、有機溶劑、光刻藥液、蝕刻液，無金屬析出、無離子污染，適配半導體超高純工藝。

密封件：全氟 Perfluoro O 型圈，零溶出、耐化學溶脹，無殘留藥液。

2. 氣動驅動執行機構（黑色上部組件）

殼體材質：PPS 高強度工程塑料，耐酸堿環境氣體腐蝕，抗老化。

驅動模式：復動雙向空氣操作（雙作用氣動），開啟、關閉均需通入壓縮空氣驅動，無內置彈簧，適合高頻往復開關、高壓藥液工況。

配套附件：頂部位置指示表盤，直觀顯示閥門全開 / 全關狀態；雙氣動進氣接口，獨立控制開 / 關動作。

3. 安裝底座

一體式 PPS 固定底座，預留標準安裝孔，可直接鎖付設備機架、藥液柜內部，模塊化集成安裝。

三、標準技術參數

氣動操作氣源

標準驅動氣壓：0.4~0.5MPa；最大允許氣源壓力 0.7MPa；僅 6mm 通徑型號上限 0.5MPa。

流體工況參數

介質壓力（25℃）：最高 0.4MPa；

流體溫度區間：5℃~80℃；環境溫度 0~40℃；

通徑規格：6/8/10/12mm 多管徑可選，直通大口徑流道，流體壓力損失極低。

連接方式

標準直插式軟管接頭，適配 PFA/PTFE 高純軟管，無螺紋金屬接觸污染。

操作特性：90° 柱塞旋轉通斷，全通徑流道無節流死角，便于藥液吹掃、無殘液滯留。

四、工作原理

雙向雙作用氣動驅動，兩組獨立氣路分別控制閥芯旋轉：

向「開閥氣口」通氣 → 活塞推動柱塞旋轉 90°，管路可導通；

向「關閥氣口」通氣 → 反向氣壓推動柱塞回轉 90°，管路可切斷；

斷氣時閥門保持當前狀態（保位型），不會自動復位，適合需要斷電保流的工藝環節。

五、核心產品優勢

耐化學 + 超高潔凈

全 PTFE 接液結構，無金屬、無橡膠內襯，適配半導體光刻液、蝕刻液、顯影液、強酸堿高純化學品，滿足晶圓制造高潔凈等級要求，無微粒、金屬離子析出。

雙向氣動適配高頻自動化

雙作用無彈簧結構，開關響應速度快，可實現每秒數次高頻切換，適配自動化藥液循環、多工位供液系統；斷氣保位，避免意外停機造成工藝報廢。

低流阻、無殘液

直通柱塞流道，內腔平滑無凹陷死角，清洗吹掃無藥液殘留，杜絕不同藥液交叉污染。

緊湊型模塊化設計

氣動執行器與閥體一體化成型，體積小巧，節省設備控制柜安裝空間；底座標準化開孔，可多閥并排集成閥組。

長效穩定密封

全氟 O 圈與 PTFE 柱塞面密封，長期耐化學溶脹，無滲漏，無外漏污染風險。

六、主流應用場景

半導體晶圓制造：刻蝕、清洗、鍍膜設備高純藥液輸送管路開關閥；

精密化工 / 電子化學品：強酸強堿、有機溶劑自動供液、分路切換；

光伏 / 面板制程：清洗藥液、蝕刻液自動化流體控制；

實驗室高純流體設備：高純度試劑自動循環、取樣管路。

七、同系列區分與選型提示

VC（手動款）：手輪 90° 旋轉控制，適合手動調試工位；

VC-G（雙向氣動復動款）：雙氣控保位，自動化產線高頻切換；

區分單作用彈簧復位型：VC-G 無彈簧，斷氣保持狀態；單作用閥斷氣自動復位，不可互換。